当社では、半導体製造や液晶製造装置などで使用されるプラズマ励起用高周波電源および高周波を応用した産業用電源、装置を製作・販売し、ご好評いただいています。研究、開発用の各種高周波電源、応用装置・設備をご希望の仕様で設計・製作いたしますので、お気軽にご相談ください。
インバータータイプ高周波電源
周波数：1～500kHz出力：0.5～100kW
固定周波数型／広帯域周波数型
<周波数掃引電源>
出力波形：三角波
周波数：10～300kHz／60Ap-p
<熱プラズマ発生用電源>
400kHz／50kW
